超聲波掃描電子顯微鏡
發(fā)布時間 : 2025-06-19 19:07
Gen6TM
設(shè)備分類：實驗室、研發(fā)型
該設(shè)備的技術(shù)和人體工程學(xué)設(shè)計讓超聲顯微成像系統(tǒng)得以發(fā)揮出好的水平。
它廣泛的應(yīng)用能勝任眾多的需求。不管是電容、倒裝芯片、疊層晶元、BGA、PCB...還是制程優(yōu)化、研發(fā)、失效分析、小批量生產(chǎn)等，它都能滿足需求。先進的SONOSCAN技術(shù)如 VRMTM樣品虛擬建模脫機掃描模式、加速掃描、FDITM頻域成像模式等讓超聲顯微成像技術(shù)的優(yōu)勢日趨明顯。
除了SONOSCAN各種先進功能外，該設(shè)備還為用戶開放了自定義空間，讓用戶使用起來更方便舒適，并幫助客戶能夠生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。
特色功能：
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帶動態(tài)平衡塊和線性馬達驅(qū)動的掃描塔使得圖像采集更清晰
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ESD操作臺面，上乘人體工程學(xué)和防靜電設(shè)計
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簡易裝載臺可容納JEDEC托盤和300mm晶圓
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基于64位win 10操作系統(tǒng)，支持多國語言
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精準的掃描臺和樣品固定架
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TurboSpeedTM加速掃描功能
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PolyGate? 功能，每個通道可設(shè)置多達100個Gate，能同時收集100層感興趣的區(qū)域數(shù)據(jù)，包括能量、色譜、波形等，并生成100張圖像
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Multi-Gate?和Probing-Gate?功能允許單層或多層聚焦成像
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SonoSimulatorTM 功能使薄層、多層樣品分析變得容易，例如堆疊芯片
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特有STaRTM 模式能同時獲得反射和透射兩種圖像
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Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)? 基于B-Scan提供切層的極性,幅值和深度數(shù)據(jù)
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可選Digital Image Analysis (DIA)?數(shù)字圖像分析自動計算出缺陷大小、數(shù)目、多少和分布
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可選Virtual Rescanning Mode (VRM)? 樣品虛擬建模脫機掃描模式
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可選Waterfall? 流水式探頭和在線溫度控制
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可選FDITM頻域成像模式
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