產(chǎn)品詳情
半導(dǎo)體手套箱
發(fā)布時(shí)間 : 2025-05-04 12:14
控 制：水、 氧小于1ppm（純化系統(tǒng)氣體出口）。
調(diào)節(jié)裝置：通過(guò)PLC觸摸式調(diào)節(jié)（加熱、 抽空、 凈化、 再生）全過(guò)程無(wú)需人為監(jiān)控。
工作氣體：N2或Ar（氣體循環(huán)）。
循環(huán)風(fēng)機(jī)：高速變頻鳳機(jī)，流量0-10Qm3/h，微處理器控制，經(jīng)過(guò)壓力測(cè)試的不銹鋼裝置。
雙凈化桂：德國(guó)BASF除氧材料，美國(guó)UOP高效吸水材料。（選配）
凈化閥：德國(guó)Burkert，全自動(dòng)電氣動(dòng)閥。 模塊化設(shè)計(jì)。
再生系統(tǒng)：用于凈化系統(tǒng)再次利用，使其活化；再生需要N2/H2或A曠H2的混合氣體，真中H2占5-10%。顯示系統(tǒng)：控制單元采用PLC觸摸屏，操作菜單：中文。
真空系統(tǒng)：自動(dòng)氣控電鍍板；真空泵選用英國(guó)Edwards 真空泵（與烤箱公用泵型號(hào)可選）